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　　半导体行业是一个手艺群集型的行业，其出产工艺丰富，筑造稹密度哀求高，合座流程涉及到成百上千道工序。跟着半导体筑造工艺越来越高，其筑造难度及品德管控也正在呈指数级增进。以是，对原料纯度、筑造精度等都提出极高哀求，而这也给原料、器件的领悟检测手艺带来了庞大的挑衅。为了进一步琢磨我国半导体及其干系音信手艺界限的最新咨询发达和生长趋向，极端是半导体原料领悟检测手艺，饱舞我国半导体原料奇迹神速生长，巩固各界限

　　】半导体行业是一个手艺群集型的行业，其出产工艺丰富，筑造稹密度哀求高，合座流程涉及到成百上千道工序。跟着半导体筑造工艺越来越高，其筑造难度及品德管控也正在呈指数级增进。以是，对原料纯度、筑造精度等都提出极高哀求，而这也给原料、器件的领悟检测手艺带来了庞大的挑衅。为了进一步琢磨我国半导体及其干系音信手艺界限的最新咨询发达和生长趋向，极端是半导体原料领悟检测手艺，饱舞我国半导体原料奇迹神速生长，巩固各界限学术换取与协同革新，特举办本次论坛。

　　赵德刚，博士，中国科学院半导体所咨询员、博士生导师，2009年国度突出青年科学基金取得者，2011年中国青年科技奖取得者，2017年国度百万万人才工程入选者，2018年国度中青年科技革新领武士才，2019年国度万人安置入选者，国度要点研发安置首席科学家，享福国务院当局异常津贴专家，中国科学院特聘咨询员。1994、1997年正在电子科技大学分袂取得学士、硕士学位，2000年正在中国科学院半导体所取得博士学位，重要从事氮化镓基光电子原料与器件咨询，研造出我国第一支氮化镓基紫表激光器、长命命大功率蓝光激光器和紫表雪崩光电探测器，揭橥SCI论文380多篇，取得国度发觉专利40多项。

　　叙述摘要：氮化镓(GaN)基原料被称为第三代半导体，其光谱界限笼罩了从近红表、可见光到深紫表全波段，正在光电子学界限有厉重的行使价格。GaN基蓝光LED的发觉激励了照明手艺和工业的革命，而GaN基激光器正在激光显示、激光照明、激光加工等界限有厉重的行使，更是高难度的光电子器件，受到了平常合切。本叙述从领悟GaN基激光器的重要难点启航，深切琢磨了原料表延、布局计划和器件工艺等手艺，揭示了激光器的牢靠性机理，取得了高职能器件结果，并对另日GaN基激光器的生长趋向做了琢磨。

　　，博士，中国科学院上海硅酸盐咨询所咨询员，博士生导师，原料谱学组分表征与行使课题组长。主办科技部仪器研造强大专项、国度天然科学基金、中科院仪器研造项目、中科院仪器筑造成效开采手艺革新项目和上海科委基金等多项科研职分。正在国表里学术刊物Applied Catalysis B: Environmental，Chem. Eng. J.，Anal. Chem.等揭橥论文100余篇，是国际和国内期刊《Atomic Spectroscopy》、《Chinese Chemical Letters》、《光谱学与光谱领悟》、《理化检讨-化学分册》和《中国无机领悟化学》编委。出书学术专著2部，兴办国度模范3项，行业模范5项，企业模范10余项。获授权国内专利20余项，美国专利1项。2010和2018年两次取得中国领悟测试协会科学手艺奖赏( 排名均为第一)。负责中国质料检讨协会检讨检测筑造分会行使原子光谱专业委员会的副主任委员、中国仪器仪表学学会领悟仪器分会第十届理事，中国仪器仪表学会光谱仪器专业委员会副秘书长、原子光谱专业委员会委员、离子色谱专业委员会委员, 中国仪器仪表行业协会正在线领悟仪器分会专家委员会委员以及中国稀土学会稀土生物医学专业委员会委员。咨询对象为半导体原料质谱色谱表征咨询及仪器筑造研造。

　　叙述摘要：报告实质涉及电感耦合等离子体质谱正在集成电道的平常行使，随后先容 电感耦合等离子体质谱布局道理及滋扰去除，接着先容 电感耦合等离子体质谱正在高纯原料领悟的行使咨询，最终先容激光剥蚀电感耦合等离子体质谱正在高纯原料领悟的行使寻找。

　　，中山大学教员，博士生导师，逸仙学者、领悟化学学科控造人。咨询对象为样品前管造、色谱/质谱/光谱领悟、丰富神速检测。已主办囊括国度基金要点项目、国度基金仪器专项项目、国度强大科学仪器筑造开采专项课题、国度要点研发安置项目课题、广东省要点界限研发安置专项等国度、省、市级项目40多项。以第一作家或通信作家揭橥SCI科研论文300余篇、出书著述2部；授权国度发觉专利60件；研造领悟仪器/装备/部件22台/套。获省部级科研奖赏3项，获宝钢训诲基金突出先生奖、中国女领悟化学家奖、中国色谱功勋奖。入选The analytical scientist2016年领悟科学界最有影响力50位女科学家、“2019年及2021年全国最具影响力100位领悟科学家”榜单。负责Journal of Chromatography A副主编、训诲部上等学校化学类专业教学领导委员会委员、中国化学会色谱专业委员会副主任等。

　　叙述摘要：丰富样品造备动作领悟流程中最耗时、易惹起差错的症结合节, 要紧限造了丰富样品神速检测的速率、确实度和稹密度。本文根据区别食物样品中宗旨物的神速检测需求，集磁、膜、微流控神速阔别手艺与表面巩固拉曼光谱(SERS)检测手艺于一体，计划和研造了多种一体化SERS基底，团结衍生化响应、适配体捕捉以及酶催化等手艺升高手腕的抉择性，兴办了系列食物平安危害物质神速检测手腕，完成了丰富样品中痕量物质的神速检测，领悟结果与模范手腕领悟结果吻合，领悟时候幼于30 min。神速样品前管造/SERS检测一体化战略，可为丰富样品中宗旨物的神速检测供应一种新思绪和手腕鉴戒，拥有优越的行使远景。

　　，高级工程师，2015年博士卒业于清华大学死板系及原料学院，后到场北京北方华创微电子配备有限公司，现任供应链技木生长核心总司理兼原料手艺部总监、公司技委会死板/材抖/ESC分会常委、中级讲师。重要负贵公司零部件原料技木平台才气兴办，插手或控造多项配备用零部件，零部件用原料等症结手艺攻合项目。历任刻蚀奇迹部死板工程师、供应链企划部部长、供应链工程手艺部部长、供应链手艺认证部长、前辈原料咨询核心主任、供应链工程手艺核心总司理。擅长界限囊括：集成电道筑造工艺手艺、半导体筑造腔室原料及表面工程、原料加工策动模仿仿真、半导体洁白筑造表面、无误拷贝、质料处理、配备零部件用超高纯原料(陶瓷/石英/石墨/不锈钢/铝合金等)、高阶涂层及表处、微污染把握、稹密洗净等。已揭橥论文12篇(SCI6篇)，申请7项专利，已授权4项。

　　叙述摘要：集成电道配备工业是集成电道工业链的厉重构成部门，具有极高的手艺门槛，需求零部件及上游原原料工业链的协同革新。本叙述基于半导体IRDS途径图及摩尔定律先容半导体行业，中心工艺配备及上游零部件原原料手艺的生长趋向，无误复造(CE!)转移处理理念，SEMI模范行使，精细叙述半导体洁白筑造表面、微污染把握、超高纯零部件原料领悟检测手艺，针对超高纯零部件原料加工研刊行使中存正在题目和挑衅，琢磨集成电道配备工业链的交叉科学与工程行使的协同革新机造。

　　，中山大学教员、博士生导师，1981年10月出生。国度突出青年基金取得者，现任中山大学电子与音信工程学院(微电子学院)副院长。从事半导体原料和薄膜晶体管咨询，正在器件表面模子、高转移率高坚固性器件、氧化物-硅基器件搀杂集成等方面博得革新成绩，以第一作家或通信作家正在Nature Electronics、Science Advances等期刊上揭橥SCI期刊论文和和IEDM顶级聚会上揭橥论文横跨80篇，论文被他人援用横跨5000次。担任国度要点研发项目课题、省行使研发专项等项目。获韩国音信显示协会奖金奖，获英国物理学会IOP发布的青年职员咨询奖。领导学生获中国电子学凑集成电道一等奖学金1名。正在国表里学术聚会上作Tutorial和邀请叙述30余次。授权发觉专利6 项和软件著述权1项。任国际SCI期刊Journal of Society for Information Display副编纂、Journal of Information Display副编纂、Semiconductor Science and Technology编委等。

　　叙述摘要：新原料的展现为薄膜场效应晶体管的根蒂表面和器件机理带来了新的厉重题目。揭示新原料的固有电特点对新原料和新器件的根蒂咨询和行使咨询都十分厉重。很多新开采的纳米线、二维纳米片、有机幼分子或纠合物已被用于筑造场效应晶体管(FET)或薄膜晶体管(TFT)。然而,因为电极功函数不完婚、界面缺陷态、热损害、各向异性输运、界面俘获等,很多器件偏离理思晶体管的特点,这给深切咨询这些半导体的输运特点和器件的处事状况带来了很大清贫。有机半导体和氧化物半导体的上风十分鲜明,可能通过较低温度乃至溶液工艺造备薄膜器件,并拥有可弯曲性。但它们都存正在一个合伙的差错,即晶体布局的无序导致洪量缺陷态。这导致与基于共价键硅的晶体管器件比拟,场效应情景中的电荷注入和电荷输运机理存正在明显区别。本叙述将从表面和测验的角度琢磨薄膜场效应晶体管表面模子和特点把握的新思绪。

　　，男，汉族，华东理工大学原料科学与工程专业卒业，咨询生硕士，九三学社社员。2009年3月参预处事，高级工程师，国度一级注册计量师，现任上海市计量测试手艺咨询院集成电道工业计量检测核心主任兼上海市电子化学品计量检测手艺供职平台手艺主管。负责世界化学模范化手艺委员会化学试剂分会委员，至今已插手草拟国度模范10余项。从事痕量领悟15年，熟习集成电道原料中无机元素的手腕开采和验证处事，插手集成电道原料工业化和国产化项目数十项，所属测验室正在湿电子化学品、电子级多晶硅、硅片、光刻胶、扔光液、金属靶材和电子级气体界限已通过CNAS和CMA认证。

　　叙述摘要：集成电道原料是工业生长的根蒂，痕量杂质是集成电道原料的厉重质料目标。跟着造程工艺的连接发展，杂质把握秤谌也越来越厉苛。叙述先容GDMS、ICPMS、IC、VPD等手艺的生长和正在痕量检测界限的行使。

　　，博士，高级工程师，硕士咨询生导师，上海有机化学咨询所质谱组课题组长。2013年入选中科院青年革新鼓动会，2017年入选中国科学院症结手艺人才项目，2022年受聘科学院首批特聘咨询骨干(手艺攻坚类)岗亭。曾主办国度天然科学基金5项，揭橥科研论文100余篇，囊括有：J. Am. Chem. Soc.(4篇)，ACS Catal.(通信作家3篇)，Anal. Chem. (通信作家2篇)，为Wiley-VCH和Taylor & Francis出书社的两部科研专著撰写了章节。专业善于：戮力于处分有机化学和质谱学中挑衅性困难，基于化学基础表面生长新质谱手艺与配备。擅长未知物的质谱解析和丰富系统中微量杂质的定性与定量领悟，正在新型有机半导体原料和纠合原料的质谱领悟界限具备雄厚的咨询阅历。

　　叙述摘要：有机半导体原料是以有机电子学为根蒂衍生生长而来的新型有机原料品种，通过对有机半导体原料分子布局领悟及职能咨询，对晋升有机半导体原料职能，拓展有机半导体原料的行使有厉重意旨。遵照有机半导体原料界限整体的领悟与测试需乞降咨询对象的区别，需求兴办系统化的质谱领悟手腕与本领。采用高区分质谱手艺团结不必离子化格式，可能完成对有机半导体原料分子布局的表征和领悟，还可能团结热脱附/热裂解领悟对有机半导体原料中的纠合物及其干系增加剂举办领悟。只要通过这种多种质谱学手艺的协调格式，兴办系统化质谱领悟手腕，并进一步精细团结光谱和NMR手艺本领真正有用的有机半导体原料的表征与领悟，进而避免领悟中的盲点和误区。

　　李青，博士，中国科学院上海硅酸盐咨询所副咨询员。重要从事高纯原料领悟手腕开采、光谱质谱仪器研造等处事。先后主办担任了囊括国度天然科学基金、上海科委项目、中国科学院仪器成效开采项目等各种研发项目5项。目前正在Anal. Chem., Anal. Chim. Acta等国际期刊揭橥论文10余篇，获授权国内专利14项，美国专利1项。

　　叙述摘要：阴阳离子领悟涉及生物医学、集成电道、处境、食物平安等厉重咨询课题。诈欺离子色谱手艺测定离子态物质的检测手腕，领悟速率速、机敏度高、抉择性好，已被平常行使。本叙述将重要先容高纯电子试剂、高纯晶体、OLED原料中痕量卤素离子的领悟手腕。

　　第九届中国领悟仪器学术大会(ACAIC 2024)将于2024年11月14-16日正在广东省深圳市召开。聚会中心为“下一代领悟仪器”，本次聚会将咨询和琢磨另日几年领悟仪器生长对象及结构发起，聚会宣称最新领悟仪器及其症结部件高秤谌研发成绩，进一步晋升用户对国产仪器和国产症结部件的信仰。

　　中国科学院上海硅酸盐咨询所(简称上海硅酸盐所)渊源于1928年创立的国立中心咨询院工程咨询所，始末九十多年的生长，上海硅酸盐所现已成为集原料前沿寻找、能手艺革新、行使生长咨询为一体的无机非金属原料科研机构，造成了“根蒂咨询行使咨询工程化、工业化咨询”有机团结的较为完美的科研系统。上海硅酸盐所目前筹筑症结陶瓷世界要点测验室(聚焦航空航天和半导体陶瓷界限)，具有无机原料领悟测试核心，重要从事无机原料测试手艺手腕咨询、测试筑造研造和测试模范拟定等处事。核心目前具有球差透射电镜、辉光放电质谱、电感耦合等离子体质谱、微米CT等原值横跨1.8亿元的筑造，测试供职完成了看待无机原料测试表征界限的全笼罩，目前正聚焦于半导体原料与器件领悟检测手艺和咨询。

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